材料開発、プロセス開発の評価に最適な実験装置です。O2プラズマ洗浄室、有機発光層蒸着室、金属電極蒸着室、封止室をコンパクトに一体化して、蒸着成膜から封止まで、大気に触れることなく、ダークスポットのない有機ELデバイスの試作ができます。材料評価、プロセス評価など、研究開発用途に再現性の高い試作実験ができ、有機ELデバイスの基礎開発が効率よく行えます。

• 有機ELディスプレイパネルの試作・実験

ガラス基板	100×100mm、成膜有効範囲　82×90mm
プラズマ洗浄室	RFプラズマ電源　O2マスフローコントローラー
蒸着　1室	低温セル蒸発源8式　ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
蒸着　2室	抵抗加熱蒸発源4式　ピンによるマスク位置決め機構±0.1mm
受け渡し室	基板受け渡し機構　N2置換機構
封止室	手動貼り合わせ機構　UVランプユニット　N2脱水循環機構
制御系	排気：全自動　蒸着：半自動操作　封止：手動操作　 水晶式蒸着コントロールによる膜厚制御
オプション	電子銃蒸発源　高温セル　酸素濃度計　ドライポンプ