30年に及ぶ真空蒸着製造装置の経験と実績による、連続生産に適した有機材料と陰極金属材料の蒸着成技術のノウハウ。35年にわたって手がけてきたファクトリー・オートメーションシステムを駆使した、ロボット搬送技術と精密エレクトロニクス技術による全自動封止。フルカラーの画素製作に欠かせない高精度アライメント機構と制御技術。これらの技術を融合した、全自動量産システムです。

成膜1クラスタ

1. クラスタ外部に設置したクリーンロボットがITO付きガラス基板をクラスタに自動投入

2. 基板の前処理洗浄

3～5. 有機積層薄膜の蒸着を行い、基板を成膜2クラスタに受け渡す

6. 仕込室のみ大気開放、トレー取り出し

成膜2クラスタ

7～9. 有機積層薄膜の蒸着

10. 金属陰極蒸着でフルカラーの成膜工程が終了し、基板を封止クラスタに受渡して待機させる。

封止ガラス自動供給ライン

封止ガラスを自動供給　→　UV洗浄　→　接着剤塗布　→　乾燥貼り付け　→ ガス出し
を行い、封止クラスタに自動投入する

封止クラスタ

11. 露点管理で低湿度を保ったN2ガス雰囲気内で、乾燥剤・接着剤塗布済の封止 ガラスを封止室に搬送し、蒸着基板に押し当てて加圧し、UV照射で接着・封止する

12. 封止工程が完了した完成ガラス基板は、クラスタ外部に設置したロボットが収納ストッカに自動排出して、一貫した連続生産が終了する

• 当社独自のセル型蒸発源と蒸着レート制御により、安定蒸着を実現
• 蒸着材料のストックと陰極金属材料の自動供給、メタルマスクの自動交換で稼働率の向上を実現
• 均一性と再現性に優れた成膜を実現
• 封止ガラス自動供給ラインと全自動封止機構で安定した封止を実現
• CCDカメラを用いた独自のアライメント機構と制御により高精度アライメントを実現
• 成膜工程と封止工程をドッキングし、一括処理することで、長寿命で安定した素子の生産が可能

• 有機ELディスプレイパネルの量産

ガラス基板	370×470mm～730×920mm ITOパターニングガラス基板（PM）/TFTパターニングガラス基板（AM）
排気	蒸着工程：10－5Pa台 封止工程：大気圧に近い低真空、露点管理で低湿度を保った Ｎ2雰囲気
成膜	有機材料：ヒーター加熱ポイントソース蒸発熱　膜分布±5％ 金属材料：THP-Cell又はEB蒸発源　膜分布±7％
封止	ガラス基板と封止ガラスの位置合わせはCCDカメラで±50μｍにアライメント
制御	搬送、排気、成膜、封止の諸条件は、コンピュータとシーケンサの設定で自動運転
マスクアライメント	ガラス基板とメタルマスクの位置合わせは、CCDカメラで±5μｍにアライメント