このページでは、キヤノントッキの製造技術について、より詳しくご紹介します。
現在生産されている有機ＥＬディスプレイは、3インチ程度の小型モバイル用が主流ですが、この小型ディスプレイの生産性の向上と、有機ＥＬテレビなどの大画面の生産を目的に、大型ガラス基板の製造装置が要求されています。
当社は、大型ガラス基板に適した蒸発源「パラレルショット蒸発源」を開発しました。従来のガラス基板回転方式では、大きなガラス基板で膜圧を均一にしようとすると、材料の使用効率が極めて悪くなります。
そこで、パラレルショット蒸発源では蒸発源を複数設け、ガラス基板と蒸発源との距離を縮めることで、膜厚の均一性と材料の使用効率向上を両立した大型基板用の蒸発源を開発しました。
有機ＥＬでは陰極として、主にアルミニウムが使用されます。アルミニウムは、るつぼとの濡れ性が良く（るつぼ表面とアルミニウムの接触角が小さい状態）、また膨張・収縮率が高いことから、長時間安定したレートで蒸着することが非常に難しい材料です。
当社は10Å/秒※（Å：オングストローム：angstrom、0.1nm（ナノメートル））の蒸着レートを保ったまま、材料供給を行いながら1週間（144時間）連続でアルミニウムを蒸着できる蒸発源を開発しました。
※ ガラス基板と蒸発源の距離により、蒸着レートに誤差が生じる場合があります。
当社は、これら独自技術の開発の他にも、お客様の要望に応じた装置開発や高精細アライメントの実現、装置の低コスト化にも積極的に取組み、有機ＥＬ業界や市場の発展に向け努力してまいります。
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