電子部品は年々小型化が進んでおり、生産装置についても更なる効率化が必要とされています。

カルーセル式スパッタ装置『SPS-402』は、省スペースで効率のよい生産を可能にしました。また、インライン式に比べ、部品点数を大幅に削減したため、低コストも実現しています。

ターゲットは2層式取り付けが可能で、積層膜の連続成膜も均一に行うことができます。

また、構造もシンプルで、メンテナンスも簡単に行えます。

• 省スペース・低コスト
• カルーセル高速回転で良好な膜厚分布
• 容易なキャリア着脱・ターゲット交換
• 2種類の積層膜成膜が可能
• 自動反転機構でバッチ内基板両面成膜可能

当社はお客様の様々なニーズに対し、様々なインライン式スパッタリング装置を開発してまいりました。

このインライン式スパッタリング装置『SPL-Vシリーズ』は、電子部品用小型基板から有機ELディスプレイ、薄膜太陽電池等の大型ガラス基板に対応しています。

この装置を高度に自動化された生産ラインに組み込むことで、当社の35年にわたる自動化システムの設計ノウハウがお客様の製造ラインの生産性を最大にします。